簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氮化鉻鋯矽薄膜"


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    以脈衝直流磁控濺鍍法鍍製氮化鉻鋯與氮化鉻鋯矽奈米複合薄膜性質評估研究
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 張詩典 指導教授: 王朝正
    • 氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力,但硬度略低於其他硬膜,實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…
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